多轴定位平台

MLS-1730系列多轴定位平台产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成，即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。 MLS-1730-3D所用定位台为LS-1730，运动...

旋转定位平台

RS4010旋转定位平台均采用压电粘滑驱动技术原理，RS系列旋转台与LS系列直线定位台很容易进行组合成多功能系统，RS系列有多种型号可以选择，同时有开环、闭环不同选项以及超高真空等特殊环境版本。

高负载平台

HF-5-10高负载平台内部采用楔形机械设计结构，外部配备额外的恒力弹簧，竖直方向利用闭环LS系列直线定位台，更好的提高了稳定载升能力的同时确保了定位分辨率。HFS系列与LS和RS系列定位台可以自由组...

精密力传感器

NFS-B精密力传感器是一种利用压阻式感应原理的微力传感器，适用于空气、真空和液体环境的测力需求。

纳米操作机

纳米操作机是一种可以在微纳米尺度下与样品或操作对象进行物理交互（如测量、移载、搬运等），并且可以在各种显微镜（光学显微镜、SEM、FIB）内进行各种物理量测量（如电学、力学、光学等）的精密仪器。

SEM纳米压痕仪

SEM纳米压痕仪能够提供在光学显微镜和电子显微镜下，实时表征和观察微/纳米尺度材料机械力学性能。通过高分辨率的力传感器、位移传感器以及自动控制方法，可记录力学性能表征测试过程中，材料表面被压入的深度和...