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关于纳米压痕仪的那些问题解答

发布时间:2022-08-26      点击次数:515
   纳米压痕仪是精确、灵活、易于使用的纳米力学测试仪器。电磁驱动器具有很好的力和位移动态范围,可以测量纳米到毫米级的变形。应用范围包括:半导体、薄膜及MEM(晶圆应用)、硬膜及DLC薄膜;复合材料,纤维,聚合物,金属,陶瓷;生物材料与生物学。
 
  ①纳米压痕设定,几种模式有何不同?
 
  纳米压痕可分为静态位移控制、静载荷控制和连续刚度控制。
 
  连续刚度只能设定位移,而不能设定载荷,可得到弹性模量、硬度随位移变化值。系统设定的时间是固定的,一般只有几秒钟。
 
  静态位移控制模式,静态负载控制模式,可设定至最大位移或最大载荷时,可设定较长时间,一般系统默认每点为15秒,也可设定较长,如30、40秒,但时间越长,收费越高;负载模式可控制保载时间,一般默认为10秒,如有特殊要求可适当增加时间或适当增加;位移模式不可;静态模式不能得到弹性模量、硬度随位移变化的变化,只能得到该点在该深度或载荷作用下的弹性模量及硬度值;
 
  ②为什么纳米压痕没有100%卸载?
 
  纳米压痕卸载一般在90%以上,如果用负载控制的测试方法,将卸载率设定为100%,那么就有可能出现热漂移(卸载后的位移会出现负值);
 
  ③压痕直径与深度之间的关系?
 
  纳米压痕测试压痕直径与压痕深度之间存在一定的转换关系:一般用概值估算压痕直径=7.5×压痕深度;
 
  ④纳米压痕的压痕位置无法从图片中看出?
 
  因为1)由于压痕位置上的压痕位置上的材料本身回弹,2)样品表面颜色较深,不太干净也会造成压痕位置不清楚;
 
  ⑤压头材料?压头前端曲率?
 
  金刚石材料,玻纤压头;新压头一般小于20纳米但时间长了肯定会很大,可能是100纳米;
 
  

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