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三维纳米定位台可靠性与稳定性的提升

发布时间:2022-10-12      点击次数:950
   三维纳米定位台是一个压电扫描柔性引导平台,例如:该平台集成英国真尚有高精密的电容位移传感器,对其行程进行了反馈,形成闭环系统。可以作为一个参考面可以集成其它维度的平台,从而实现三维位置控制。
  压电纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。运动范围可达500μm,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。
  三维纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化的结构设计。机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦等特点。纳米定位台的驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。1-3维运动,行程范围最大可达1.1mm,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,可以选择配置高精度电容、电感、电阻应变计传感器实现纳米级分辨率及定位精度且具有的可靠性。压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。
  三维纳米定位台产品属于高精密仪器,对于安装与使用有着非常严格的要求,以保证其长期使用的可靠性与稳定性。
  此外,压电纳米定位台还可用于:
  光路调整;
  纳米操控技术;
  纳米光刻,生物科技;
  激光干涉;
  CCD图像处理;
  纳米测量、显微操作;
  纳米压印、纳米定位;
  显微成像,共焦显微。

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