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三维纳米定位台

简要描述:MLS-1730系列三维纳米定位台产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成,即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。MLS-1730-2D所用定位台为LS-1730,运动为21x21mm。

  • 产品型号:MLS-1730-2D
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-11-12
  • 访  问  量:251

详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域医疗卫生,生物产业,电子,航天,电气

MLS-1730系列三维纳米定位台产品由预堆叠的LS-1730系列纳米马达组成,即装即用。所有产品均可在空气、高真空、超高真空以及无磁环境下使用。

  平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈,实现0.05%F.S.重复定位精度。P12B.XYZ100压电扫描台扫描范围可达100μm/轴,闭环扫描精度高,直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域,同时适用于真空应用,满足客户真空应用需求。

  特点

  · 三维XYZ向运动

  · 行程100μm/轴

  · 中心通孔?10mm

  · 适用于真空应用

  应用领域

  · 扫描显微/表面测量

  · 共焦显微/半导体测试

  · 晶圆定位/图像处理与稳定

  · 光纤定位/光学扫描

产品描述:MLS-1730-2D所用定位台为LS-1730,运动为21x21mm。

三维纳米定位台参数:

概观  
轴数 2
所用的定位台 LS-1730
运动行程[mm] 21x21
XY 最大负载[N] 10
靠板安装尺寸[mm] 60x60x25 (L x W x H)
直接安装尺寸[mm] 30x30x20 (L x W x H)
选配  
材质 标配为铝底座;可选配钢座(-ST)、钛基(-TI);均黑色阳极氧化(-BK)
真空兼容 (1E-6 mbar) -HV
高真空兼容 (1E-11 mbar) 可根据要求定制
无磁 可根据要求定制
* 所有技术规格参数均为近似值,由于产品持续研发,我们保留更改技术规格的权利,恕不另行通知。
 

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